为加强中央集权，秦代在全国范围内废除分封制，实行郡县制。中央开始强化对地方官员的监察。
秦初，中央设置了三公中枢机构，即丞相辅佐皇帝掌政务，太尉协助皇帝领军事，御史大夫负责监察，有举劾非法之权，初步形成了行政、军事、监察三权并立的运行机构。在郡一级，设置了与中央相对应的郡守、郡尉、郡监。其中，郡监即监郡御史，掌一郡之监察，有固定衙署，有属官从事。监郡御史直隶于御史大夫，实质上是中央监察机关派驻地方的监察机构。
据此，秦代不仅创立了三权并立、互相制约的运行机制，而且建立了从中央到地方独立设置垂直管理的监察机构。
自西汉中叶，地方监察制度有了进一步发展，主要标志是刺史制度的确立。
汉朝初期，地方实行郡国并行的双轨体制，并没有实行御史监郡制度。惠帝时始派遣御史监三辅郡。其后不久，中央向各郡普遍派出了监郡御史，并制定有关监察的九条规定。文帝时因发现监郡御史与郡守相互勾结使监察形同虚设，故又派官员出巡并监督监郡御史。汉武帝鉴于两史并出，职事交叉重叠，削弱了对地方的监察，在元封五年(公元前106年)初置郡刺史， 正式创立了刺史制度。
刺史制度是指除京城及附近七郡由司隶校尉监察外，将全国划分为十三州部，每州部为一个监察区，由中央监察机构派遣刺史常驻，专门负责州部监察范围内各郡国的吏政，检举不法官吏。十三州部仅为监察区组织，非一级行政区划，更非行政机构。同时，制定了六条监察条例，规定刺史的职权和督察范围，刺史以六条为准绳监察地方官吏。刺史秩卑，仅六百石，但权重，赏厚。刺史监督对象主要是二千石的郡守。刺史定期巡行所部郡国。掌奉诏条察州，周行郡国，省察治政，黜陟能否，断理冤狱，且一旦有政绩，升迁机会极大。
西汉的部刺史监察制度有三个特点：一是各部刺史监察机构自成体系，独立设置，独立运行。刺史是中央派遣常驻地方监察区的监察官，直接隶属于中央的御史中丞机构，垂直管理，与地方机构没有隶属关系。二是各部州刺史不用本籍人。三是部刺史一年一任。
刺史制度建立之初是一项比较好的制度设计，机构自上而下、垂直管理、自成一体、监察独立、职责明确，秩卑的刺史与秩尊的郡守无隶属关系和利害关系，郡守难以制约刺史。在这种体制下，刺史便于督察履责，乐于劾举，也便于吏民检举告发，在加强中央集权、防止地方郡国势力膨胀、对地方实行有效控制等方面发挥了作用。但自西汉末年，特别是东汉末年，刺史权力扩张，逐渐浸取了地方官所拥有的人事权、司法权和兵权，监察地方的职能也已丧失，从原来由中央朝廷派驻地方进行巡察的监察官吏，逐渐演变成凌驾于郡之上的地方行政长官，成为统兵领郡、拥兵自重、独霸一方的地方割据势力。州也由原来的监察区演变成凌驾于郡之上的一级地方区划。
