摘 要 构建了一种简便、快速检测甲醛的新型钯多孔硅（PdPS）复合传感器。采用水热腐蚀法制备多孔硅，通过扫描电镜表征其表面微结构。对多孔硅腐蚀条件进行了优化，得出多孔硅的最佳制备条件。多孔硅经化学浸渍法在其表面掺杂金属钯， 进而制成了钯多孔硅复合传感器。当此传感器被置于含甲醛的混合气体中时，可高选择性结合甲醛气体分子，并产生电信号，其强度与甲醛浓度相关，通过万用表检测其电信号，进而分析其气敏性能。检测结果表明， 此传感器对甲醛气体敏感， 且表现出良好的选择性， 对乙醇、氨气、甲醇和丙酮不敏感。此传感器对甲醛浓度的检测范围在0.1～6.0 mg/m3之间， 检出限为0.1 mg/m3， 检测时间为3 min。
关键词 多孔硅制备； 水热腐蚀法； 甲醛； 钯多孔硅； 气敏性能